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隨著近些年來半導(dǎo)體行業(yè)的飛速發(fā)展,對于微細加工技術(shù)的要求也越來越高。微電子生產(chǎn)設(shè)備,光學(xué)儀器等高靈敏度設(shè)備,針對其工作環(huán)境（如振動,噪聲,電磁以及溫濕度）,尤其是振動條件提出了更苛刻的要求。針對此類振動幅值小,精度要求高,工作頻率低的使用環(huán)境特征,常規(guī)的通用數(shù)據(jù)采集設(shè)備無法滿足其測量評估要求。

微振動測試模擬

針對微振動測試模擬需求,瑞鴻科技提供完整的微振動測試與模擬的交鑰匙解決方案,已有多家客戶正在使用。

1.        微振動模擬發(fā)生器

2.        微振動配套環(huán)境實時

3.        可以模擬0.1mg正弦掃頻

4.        測試可以達到ug級微振動測試

整個系統(tǒng)建立在隔振環(huán)境好的實驗室內(nèi),由低噪聲的微振動控制器、低噪聲微振動試驗系統(tǒng)、低噪聲的傳感器以及電腦組成。微振動發(fā)生試驗系統(tǒng)包括低噪聲低失真的功率放大器、微振動發(fā)生器和冷卻系統(tǒng)以相關(guān)的輔助設(shè)施實現(xiàn)。

為了整個系統(tǒng)的性能要求,采取了微振動采集儀低噪聲的設(shè)計和生產(chǎn),同時選用低噪聲的微振動拾取器,配合低噪聲算法軟件,實現(xiàn)微振動的測試,整個系統(tǒng)達到0.01mg的測試精度。

優(yōu)勢

（1）          整個系統(tǒng)低噪聲,動態(tài)響應(yīng)好,失真度低,低噪聲

（2）          公司整個針對微振動系統(tǒng)工程經(jīng)驗豐富,技術(shù)成熟

（3）          上�？梢员镜丶夹g(shù)支持

（4）          有成熟案例

主要技術(shù)參數(shù)和指標

（1）          主要頻率范圍5hz～100hz。

（2）          振動加速度范圍1mg～0.05g(可視實際環(huán)境工況而定)

（3）          控制精度mg級

（4）          振動方式：正弦、隨機、沖擊

（5）          負載重量：大于200kg

系統(tǒng)組成（非標定制）

微振動發(fā)生系統(tǒng)：包含低噪聲低失真功率放大器、微振動發(fā)生器和冷卻系統(tǒng)。功率放大器采用風冷,為低噪聲低失真的輸出功率為15kva。放大器采用新技術(shù)的mosfet功率晶體管,數(shù)字脈沖模式工作方式。不對稱輸入,具有高功效的大的帶寬,針對于微振動試驗的特殊要求,專門對攻放進行低噪聲的優(yōu)化設(shè)計,使攻放的信噪比優(yōu)于80db,失真度小于0.7％,針對于微振動的低勵磁模式控制。微振動發(fā)生器裝有自動氣囊載荷補償裝置,在大負荷下能實現(xiàn)振幅。針對微振動微笑振動控制的優(yōu)化設(shè)計,使微振動發(fā)生器及時在微小振動情況下也能做到高響應(yīng)精度發(fā)生,微振動發(fā)生器和放大器之間的連接電纜長5米。

微振動控制系統(tǒng)：振動控制設(shè)備的插件包括標準的數(shù)字信號處理面板,模擬-數(shù)字和數(shù)字-模擬轉(zhuǎn)換軟件,處理所有振動和沖擊控制模式的標準軟件。針對微振動專門優(yōu)化硬件和軟件,實現(xiàn)低噪聲設(shè)計控制。

微振動采集分析系統(tǒng)：為了整個系統(tǒng)的性能要求,采取了微振動采集儀低噪聲的設(shè)計和生產(chǎn),同時選用低噪聲的微振動拾取器,配合低噪聲算法軟件,實現(xiàn)微振動的測試,整個系統(tǒng)達到0.01mg的測試精度。

加速度傳感器與附件（選件）：針對微振動試驗要求,選用低噪聲的傳感器,以及放大器來實現(xiàn)微振動的試驗。