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定安 縣實驗室氣路設計/安 裝/施工/改造/海南科美迪公司

實驗室高純氣路布局

實驗室供氣系統(tǒng)的功能

滿足不同實驗的要求和安 全性,雙瓶采用匯流排供氣設備,具有手動、半自動和全自動切換功能,并沒有低壓報警裝置,實時監(jiān)控氣壓、濃度檢測報警和排確保客戶正常用氣和生命財產安 全。

氣路系統(tǒng)常用設備

鋼瓶(氣體壓縮機)、鋼瓶國定架、鋼瓶柜、鋼瓶接頭、金厘軟管、半自動開關裝置、一級減壓器、二級減壓器、焊接三通、焊接大、小封頭、夾緊套情閥、不銹鋼管(ba)、壓力表、可燃有毒氣體監(jiān)測報警裝置等。

實驗室集中供氣系統(tǒng)技術要求

1、氣瓶存放室:

(1)氣瓶之間應采用300毫米厚的實心墻,安 裝防爆門,設置防爆裔

(2)室內電氣設備應具有防爆功能:

(3)應安 裝排氣扇,隨時保持良好的通風狀態(tài)

2、供氣系統(tǒng)需要兩級減壓供氣。供氣匯流排減壓,氣體從15mpa減壓到小于1.5mpa,然后輸送到每個氣體使用實驗室。二級減壓器安 裝在每個用氣實驗室或用氣點,便于對通風柜或儀表的氣體輸送壓力進行統(tǒng)一控制,用氣終端裝有中壓球閥和壓力指示器。二級減壓器精確調節(jié)壓力(.01兆怕,獲得穩(wěn)定的壓力,可以滿足儀器對不同使用壓力的要求,一級減壓器和二級減壓器均配有壓力表,可實時顯示當前壓力.

3,采用雙側匯流排半自動方式連續(xù)供氣,實驗室使用要求,更換氣瓶時,可以通過安 裝在高壓軟管下方的夾緊衰更換氣瓶。

4、氫氣和乙快是。應設計氣體泄漏檢測和報警裝置,并安 裝陽火器,以防止明火回流。應確保放置易燃和助燃氣體的足夠安 全距離.

實驗室高純氣路布局1,高純氣體管道系統(tǒng)的布置不同于普通氣體管道。一般來說,要求管道不要太長,不要有死角,如不容易吹干凈的“盲管”。主管或支管的未端應提供必要的排放口和取樣口。在一些非連續(xù)使用的用戶中,讓少量氣體在管道未端連續(xù)排出,從而管道中的氣體將正常流動,避免出現(xiàn)”死區(qū),根據工藝氣體的質量要求,必憑時應設置終端凈化裝置。一般來說,控制閥、過減器、減壓裝置、壓力表、流量計、在分析儀器等,進入潔凈車間的高純度氣體管道集中在氣體人口室,便于

統(tǒng)一管理和控制。2.高純氣路管道及管道附屋材料高純氣體管道輸送管道應根據工藝對氣體純度、允許雜質含量、顆粒含量等的不同要求,采用相應質量的管道。例,半號體工業(yè)僅需要清潔的生產環(huán)境,而目由于其復雜的生產過程和精細加工,對生產過程中所需的各種高純度氣體也有具體和嚴格的要求,從微米技術到亞徽米和深亞微米小于0.35um)技術,對氣體中雜質含量和水分含量的要求非常嚴格,10-6 ppm級)不能滿足要求,需要達到10-9 (ppb級)其至10-12pt級),粉 塵粒經要控制在0.05-0.01 um。因此,輸送管道的管道材料特性必須滿足高純度和超高純度氣體的要求。