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電火花線切割簡稱線切割。它是在電火花穿孔、成形加工的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的。它不僅使電火花加工的應(yīng)用得到了發(fā)展,而且某些方面已取代了電火花穿孔、成形加工。如今,線切割機(jī)床已占電火花機(jī)床的大半。加工出來的表面比較粗糙。慢走絲也是線切割的一種,是利用連續(xù)移動(dòng)的細(xì)金屬絲（稱為電極絲）作電極,對(duì)工件進(jìn)行脈沖火花放電蝕除金屬、切割成型。它主要用于加工各種形狀復(fù)雜和精密細(xì)小的工件,根據(jù)電極絲的運(yùn)行速度不同,電火花線切割機(jī)床通常分為兩類：一類是慢走絲（也叫低速走絲電火花線切割機(jī)床）電極絲作低速單向運(yùn)動(dòng),一般走絲速度低于0.2m/s,精度達(dá)0.001mm級(jí),表面質(zhì)量也接近磨削水平。加工出來的表面很光。硅是生產(chǎn)太陽能電池的主要材料,太陽能電池生產(chǎn)一般有硅棒生長、硅片切割、硅片清洗、制絨及其電極制作幾個(gè)步驟,在工藝方面主要致力于降低電池表面的光反射來提高太陽能光電轉(zhuǎn)換效率,一般采用的有鍍減反射膜和表面織構(gòu)工藝。

單晶硅電池的表面織構(gòu)化已經(jīng)用酸 堿 異'性腐蝕的方法得到解決,轉(zhuǎn)換效率高,穩(wěn)定性好,但是成本比較高。多晶硅是單晶硅的直接原料,能直接制備出適于規(guī)模化生產(chǎn)的大尺寸方型硅鏈,制造過程簡單、省電、節(jié)約硅材料,具有更大的降低太陽能電池生產(chǎn)成本的潛力。由于多晶硅中的各種缺陷,如晶界、位錯(cuò)、微缺陷等,使其光電轉(zhuǎn)換效率較低,目前多晶硅電池主要制作減反射膜(sin薄膜)和制作多孔硅降低光損失,這種方法的設(shè)備成本高。同時(shí)國內(nèi)外嘗試了用機(jī)械刻槽工藝[1]、反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)[2]、蜂窩絨面結(jié)構(gòu)技術(shù)[3]形成絨面,由于工藝復(fù)雜、工序時(shí)間長、設(shè)備昂貴和成本高等不適慢走絲線切割機(jī)床加工經(jīng)驗(yàn)合工業(yè)化生產(chǎn)。以提高轉(zhuǎn)換效率和降低成本為目標(biāo),探討和研究多晶硅電池的新型制作方法是一項(xiàng)艱巨的任務(wù)。

常規(guī)太陽能硅片切割使用線鋸切割,切割損耗較大,且有宏觀切削力等缺點(diǎn),而電火花錢切割具有能量密度高、無接觸去材、無宏觀切削力等優(yōu)點(diǎn),漸漸成為加工硅片的一種手段,國內(nèi)外90年代末期開始對(duì)硅進(jìn)行了大量的電火花加工試驗(yàn)研究,使電火花加工硅片成為可能。