昨天,在浦東新區(qū)康橋工業(yè)園南區(qū),由華虹集團(tuán)旗下上海華力集成電路制造有限公司建設(shè)和營(yíng)運(yùn)的12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目（以下簡(jiǎn)稱“華虹六廠”）實(shí)現(xiàn)首臺(tái)工藝設(shè)備——光刻機(jī)搬入,標(biāo)志著華虹六廠從基建階段進(jìn)入工藝設(shè)備安裝調(diào)試階段。

    作為上海市最大的集成電路產(chǎn)業(yè)投資項(xiàng)目,華力12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線總投資387億元人民幣,計(jì)劃于2022年底建成月產(chǎn)能4萬(wàn)片的12英寸集成電路芯片生產(chǎn)線。

    集成電路技術(shù)進(jìn)步,一般用芯片集成度和微細(xì)加工精度兩個(gè)指標(biāo)來(lái)衡量。芯片集成度,指單一芯片中所含有的晶體管數(shù)量。晶圓尺寸從3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸已發(fā)展到目前的12英寸,并且18英寸也開始處于研發(fā)階段。從目前全球晶圓廠產(chǎn)能情況來(lái)看,12英寸生產(chǎn)線主要生產(chǎn)高性能產(chǎn)品,工藝技術(shù)更加先進(jìn),是目前的主流建設(shè)方向。行業(yè)知名咨詢機(jī)構(gòu)IC　Insights（集成電路觀察）分析認(rèn)為,截至2016年底,300毫米（12英寸）晶圓占全球晶圓廠產(chǎn)能的63.6％,預(yù)計(jì)到2021年底將達(dá)到71.2％,其年均復(fù)合增長(zhǎng)率為8.1％。

    華力12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線工藝覆蓋28—14納米技術(shù)節(jié)點(diǎn)。目前,世界集成電路生產(chǎn)水平最高已達(dá)到7納米,主流生產(chǎn)線的技術(shù)水平為28—14納米,中國(guó)大陸集成電路企業(yè)生產(chǎn)工藝水平最高為28納米。華虹集團(tuán)此前已擁有一條全自動(dòng)的12英寸芯片生產(chǎn)線,目前主要采取的是55—28納米技術(shù)。相比第一條12英寸生產(chǎn)線,此次項(xiàng)目在技術(shù)工藝和產(chǎn)能兩方面都有所提升。

    “中國(guó)大陸28納米芯片的產(chǎn)能非常少,未來(lái)4萬(wàn)片月產(chǎn)能建成后,我國(guó)28納米芯片的產(chǎn)能將提升一倍。到時(shí)候,我們使用的高端芯片將有一部分來(lái)自國(guó)產(chǎn),在上海就能生產(chǎn)28納米芯片,這對(duì)于我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展意義深遠(yuǎn)�！鄙虾ＨA力微電子有限公司總裁雷海波說(shuō),28納米芯片的應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛,比如手機(jī)通信、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能領(lǐng)域的高端芯片。該項(xiàng)目主要從事邏輯芯片生產(chǎn),在這一技術(shù)基礎(chǔ)上,可以開發(fā)出射頻、高壓、嵌入式存儲(chǔ)器類芯片等許多產(chǎn)品,重點(diǎn)服務(wù)國(guó)內(nèi)設(shè)計(jì)企業(yè)先進(jìn)芯片的制造,并滿足部分事關(guān)國(guó)家信息安全的重點(diǎn)芯片制造需求。

    大陸最先進(jìn)的浸沒式光刻機(jī)

    此次搬入的首臺(tái)工藝設(shè)備為荷蘭阿斯麥公司的NXT1980Di光刻機(jī),是目前中國(guó)大陸集成電路生產(chǎn)線上最先進(jìn)的浸沒式光刻機(jī)。

    光刻機(jī)是芯片制造的核心設(shè)備之一,按照用途可以分為,用于生產(chǎn)芯片的光刻機(jī)、用于封裝的光刻機(jī)和用于LED制造領(lǐng)域的投影光刻機(jī)。在加工芯片的過程中,光刻機(jī)通過一系列的光源能量、形狀控制手段,將光束透射過畫著線路圖的掩模,經(jīng)物鏡補(bǔ)償各種光學(xué)誤差,將線路圖成比例縮小后映射到硅片上,然后使用化學(xué)方法顯影,從而得到刻在硅片上的電路圖。簡(jiǎn)單地說(shuō),就是將芯片設(shè)計(jì)的圖形從掩模版上“轉(zhuǎn)移”到涂在硅片表面的光刻膠上。

    華力12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目首臺(tái)工藝設(shè)備的搬入,標(biāo)志著將康橋工業(yè)園南區(qū)打造為上海集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展新基地取得了階段性勝利,這對(duì)上海市落實(shí)《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》,同時(shí)對(duì)上海建設(shè)先進(jìn)制造業(yè)的產(chǎn)業(yè)集群高地,打響“上海制造”品牌有著重要意義。未來(lái)五個(gè)月內(nèi),華虹六廠工藝設(shè)備將集中搬入,其中也包括一些國(guó)產(chǎn)設(shè)備,今年底前將完成生產(chǎn)線串線并實(shí)現(xiàn)試流片,預(yù)計(jì)月產(chǎn)能達(dá)到1萬(wàn)片。

    進(jìn)入全球集成電路產(chǎn)業(yè)陣營(yíng)前列

    “有點(diǎn)激動(dòng),也有點(diǎn)感動(dòng)�！比A虹集團(tuán)黨委書記、董事長(zhǎng)張素心說(shuō),自2016年12月30日開工以來(lái),廣大建設(shè)者克服連綿陰雨、持續(xù)高溫等不利因素,實(shí)施立體和錯(cuò)時(shí)施工。經(jīng)過約一年半的努力,每天工作12小時(shí)以上,目前主廠房已完成凈化裝修,相關(guān)配套機(jī)電設(shè)備準(zhǔn)備就緒,具備了工藝設(shè)備搬入條件,比原計(jì)劃進(jìn)度提前1個(gè)半月。

    項(xiàng)目建成后,華虹集團(tuán)將成為擁有覆蓋從0.5微米到14納米各工藝節(jié)點(diǎn)的大型集成電路制造產(chǎn)業(yè)集團(tuán),在產(chǎn)業(yè)規(guī)模和工藝技術(shù)上進(jìn)入全球集成電路產(chǎn)業(yè)陣營(yíng)的前列。該項(xiàng)目已被列入國(guó)家《“十三五”集成電路產(chǎn)業(yè)重大生產(chǎn)力布局規(guī)劃》,是國(guó)家“910工程”的子項(xiàng)目之一,也是“十三五”期間上海市重大產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目和上海市重大工程,并實(shí)現(xiàn)了當(dāng)年立項(xiàng)當(dāng)年開工。